![]() SOI500 |
![]() SOI600 |
● 配置豐富的成像照明系統
● 出色的殘膠檢測功能
● 智能檢測分析
● 支持多種物料接口
● 離線軟件
型號 | SOI500 |
基底尺寸 | 150mm/ 200mm/ 300mm |
照明模式 | Dark field and bright field |
倍率 | 1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X |
工件臺 | X/Y/Rz axis, independent Z axis |
型號 | SOI600 |
硅片尺寸 | 200mm |
微觀缺陷檢查 | Multi point automatic photograph |
正面及邊緣宏觀缺陷檢查 | Rx, Ry flipping range: -35 degree~35 degree Rz Rotation range: 0 degree ~360 degree |
背面宏觀缺陷檢查 | Rx flipping range: 0 degree ~180 degree |
宏觀相機像素 | 2048×2048 |