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        1. 金屬掩模測量設備 —— AM-OLED張網檢測


          SOC260

          SOC260主要應用于G6產線蒸鍍金屬掩模的TP/CD檢測。
             產品特征

          ● 龍門氣浮結構

          ● 多自由度激光干涉儀

          ● 高精度

          ● 高效率

          ● 可配置不同的照明方式

          ● 可靠的溫度控制系統

             主要技術參數

          型號

          SOC260 

          線寬測量重復性

          100nm@3sigma(On Metal Mask)

          線寬測量精度

          ±300nm(On Mapping Glass)

          長寸測量重復性

          300nm@3sigma(On Mapping Glass)

          長寸測量重復性

          500nm@3sigma(On Metal Mask)

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