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        1. 長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


          SOM245/10

          SOM255/10

          SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
             產品特征

          ● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

          ● 高測量精度,CD測量重復性30nm,TP測量重復性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

          ● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

          ● 高效的溫度控制系統

          ● 快速靈活的客制化服務

             主要技術參數

           型號

          SOM245/10 

           SOM255/10

           CD測量重復性

           30nm@3Sigma

           30nm@3Sigma

          CD測量復現性

          50nm@3Sigma 

           50nm@3Sigma

           TP測量重復性

           280nm@3Sigma

          300nm@3Sigma

           TP測量復現性

          400nm@3Sigma 

          450nm@3Sigma

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